Technológie výroby senzorov

Ročník: II. Bc.
Prednáša: prof. Ing. Juraj Banský, CSc.
Cvičí: Ing. Igor Vehec, PhD.

Výučbový týždeň OBSAHOVÁ NÁPLŇ
prednášokcvičení
1. Úvod, parametre senzorov, statické a dynamické charakteristiky, spoľahlivosť polywww.in2p3.fr/babar/slc/node22.html (Charakteristiky senzorov)
2. Technológie výroby, materiály pre TF senzory, LTCC keramika, MCM, SMT technológia www.dupont.com/mcm/techpapr/index.html#sensors (Materiály na výrobu senzorov)
www.maxtek.com/technologies.html (Technológie výroby senzorov)
www.ewh.ieee.org/mm/cpmt/vlab/start.html (Hrubovrstvové technológie výroby senzorov)
www.dupont.com (LTCC keramika)
www.kyocera.com (LTCC keramika)
3. Štruktúra a architektúra senzorov a multi-senzorov, mikro-senzory, vlastnosti, Si senzory, technológie výroby mikro-senzorov  
4. Optické senzory a mikrosenzory, výroba, vlastnosti, aplikácie www.volny.cz/alef-cz/ck00/2-9-4.htm (Optické senzory)
www.geva.cz/dodavatele.htm (Optické a laserové senzory)
www.geva.cz/wg11.htm (Fotosenzory)
www.opticalenergy.com/ (Optické senzory)
5. Snímanie mechanických veličín – senzory a mikrosenzory, výrobaa aplikácie. Teplotné senzory – základy www.ifmefector.com/ifmus/web/pressure.htm (Tlakové senzory)
www.doc.mmu.ac.uk/aric/eae/Weather/Older/Pressure.html (Senzory na meranie tlaku)
www.globalspec.com/LearnMore?comp=2&se=ink (Tlakové senzory)
www.transducersdirect.com/Indpressure.asp (Senzory na meranie tlaku)
baumerelectric.com...produkte/druck/pdru.html (Tlakové senzory)
www.temperature.com (Princípy merania teploty)
6. Teplotné senzory – architektúra a štruktúry, aplikácie a vlastnosti. Plynové senzory – základy www.cesko.host.sk/GamePortTemp.htm (Teplotný senzor s pripojením k PC)
inn7201.casaccia.enea.it/o28.htm (Teplotné senzory)
(Teplotné senzory)
7. Kapacitné senzory, radiačné senzory, snímanie chemických parametrov, potenciometrické senzory www.opticalsensors.se/ (Opticko - radiačné senzory)
search.ieice.or.jp/2000/files/e000c03.htm (Opticko - radiačné senzory, teplotné senzory)
www.sensorsmag.com/articles/0799/hot799/main.shtml (Chemické senzory)
www.temperatureworld.com (Senzory na meranie teploty)
8. Supravodivé senzory, mikrosenzory, materiály, SQUID – princíp činnosti  
9. Netradičné technológie výroby TF senzorov, aplikačné možnosti, základné parametre  
10. Senzory pre iónovú extrakčnú optiku, návrh, výroba a vlastnosti  
11. Senzory pre plazmové technológie. Výroba, parametre a princíp činnosti plasma.chemeng.upatras.gr (Senzory pre plazmové technológie)
sapphire.ph.utexas.edu/wootton/work/teaching/sensors/pdf%20versions/sensor%2011%20(laser%20produced).pdf (Senzory na báze plazmových technológií, laserové senzory)
www.sdl.usu.edu/capabilities/sensors/plasma (Senzory pre plazmové technológie)
www.aps.org/BAPSGEC98/abs/S5500002.html (Senzory pre plazmové technológie)
monet.physik.unibas.ch/nose/inficon/ (Senzory pre plazmové technológie)
www.chee.uh.edu/nikolaou/PresentationSematech2000.pdf (Senzory pre plazmové technológie)
12. Analýza distribúcie iónov a elektrónov v plazme  
13. Integrované hybridné senzory tlaku, teploty  
14. Biosenzory – senzory pre aplikácie v medicíne. Mechatronika a mikromechatronika www.lifesensors.com/ (Biosenzory)
www.oxford-biosensors.com/ (Biosenzory)
www.eng.rpi.edu/dept/chem-eng/Biotech-Environ/BIOSEN2/biosensor.html (Biosenzory)
www.ornl.gov/ORNLReview/rev29_3/text/biosens.htm(Biosenzory)

Doporučená literatúra:

[1] Banský, J. – Slosarčík, S. – Podprocký, T.: Hrubovrstvové hybridné senzory, Košice, Royal Unicorn s.r.o., 1999. 110s. ISBN 80-968128-3-1.
[2] PRUDENZIATY,M.: Thick film sensors, Elsevier, 1994
[3] SOUTOR,Z.-ŠAVEL,J.,-ŽÚREK,J.: Hybridní integrované obvody, SNTL/ALFA, 1982
[4] GÖPEL, W., HESSE, J., ZEMEL, J.,N.: SENSORS. Fundamentals and General Aspects. VCH Publishers (UK),1989.
[5] Kreidl, M.: Senzory, skriptum, ČVUT Praha, 1992.
[6] Felix, J. – Michaeli, L.: Senzorové systémy, skriptum, FEI TU Košice, 1992, 174s.
[7] NIEBUHR, J., LINDER, G.: Physikalische Messtechnik mit Sensoren. Oldenbourg Verlag, Muenchen, 1994. ISBN 3-486-219458-8.
[8] GULDAN, A.: Mikroelektronické senzory. Bratislava, ALFA 1987. 253 s.
[9] HRUŠKA,J.: Inteligentní polovodičové senzory. Sdělovací technika
[10] ZEHNULA,K.: Čidla robotů. Praha,SNTL 1990. 370 s.
[11] Zehnula,K.: Snímače neelektrických veličin, Praha, SNTL, 1983. 372s.
[12] MAJSTRLA, V.: Snímače neelektrických veličín - součaný stav a vývojové tendence. Automatizace, 32, 1989, č.1, s. 12-15.
[13] ŠTURCEL, J.: Meracia technika v automatizácii. AT&P journal, 1/1995, pp.3-5.
[14] ŠTURCEL, J.: Súčasný stav a trendy v senzorových systémoch. AT&P journal, 3/1997, pp.13-17.
[15] SCHIESSLE, E.: Sensortechnik und Meßwertaufnahme. Vogel Fachbuch, 1992, 227pp.
[16] SCHNELL, G.: Sensoren in der Automatisierungstechnik. Vieweg, 1993. s.450
[17] Škrovánek, T. – Faltus, Z. – Chytil, M: Metrológia tlaku, Bratislava 1992. 120s
[18] Senzory a senzorové systémy, Štrbské Pleso 10 – 12. máj 1989. s.23-26. (Zborník prednášok)

Odborné periodiká:

1. Technisches Messen, München
2. Control engineering
3. Sensors, Peterborouch
4. ...

Linky:

www.dupont.com
www.ssec.honeywell.com
www.sorep.com
www.entran.com
http://mot-sps.com
www.ntu.edu.sg (E - learning)

Školy:

http://hercules.kar.elf.stuba.sk/predmety/ (Katedra automatizácie a regulácie FEI STU)
http://staffold.vscht.cz/ipl/vv_zam.html VŠCHT - Ústav inženýrství pevných látek)
http://www.feld.cvut.cz/FEE/education/bk/predmety/01/67/p16776.html (Senzory a převodníky, Katedra měření)

Cvičenia:

Semestrálne zadanie - Návrh a realizácia hybridného senzora pre meranie: Teploty, vlhkosti, tlaku (sila-váha).

Zadanie pozostáva z dvoch častí:

a)      Teoretickú časť predstavuje rešerš z oblasti vyššie uvedených snímačov. Rešerš má informovať o princípe funkcie snímača, prehľad priemyselne vyrábaných snímačov so zameraním na technológiu ich výroby.

b)      Praktickú časť predstavuje technologický plán výroby vlastného návrhu senzora, pre danú oblasť merania. Návrh vychádza z princípu činnosti senzora o ktorom informuje rešerš. Záver je praktická realizácia senzora.

Študenti v rámci cvičení budú mať za úlohu sa navzájom informovať o svojich prácach, kde by formou brainstormingu vylepšovali svoje návrhy v praktickej časti. Najlepšie návrhy (v rámci možnosti katedry realizovateľné) budú spoločne realizovať.